附带籽晶温度自检功能的mpcvd金刚石生长设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117604625 A (43)申请公布日 2024.02.27 (21)申请号 202311563102.X (22)申请日 2023.11.22 (71)申请人 上海征世科技股份有限公司 地址 201799 上海市青浦区华浦路500号2 幢西侧 (72)发明人 满卫东　杨春梅　 (74)专利代理机构 上海邦德专利代理事务所 (普通合伙) 31312 专利代理师 梁剑 (51)Int.Cl. C30B 25/00 (2006.01) C30B 29/04 (2006.01) C23C 16/27 (2006.01) C23C 16/511 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图15页 (54)发明名称 附带籽晶温度自检功能的mpcvd金刚石生长 设备 (57)摘要 本发明提供附带籽晶温度自检功能的mpcvd 金刚石生长设备，涉及气相沉积技术领域。该附 带籽晶温度自检功能的mpcvd金刚石生长设备包 括金刚石生长炉体和安装于金刚石生长炉体一 侧并与金刚石生长炉体相连通的进气管，所述金 刚石生长炉体内部顶面固定连接有中间管道。该 附带籽晶温度自检功能的mpcvd金刚石生长设备 通过升降组件的交替升降，使得充分混合的反应 气体能够经过环形等距分布的匀气孔进一步匀 气后，气体最后经过位于第二排气头凹陷部位的