一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220821498 U (45)授权公告日 2024.04.19 (21)申请号 202322639177.3 (22)申请日 2023.09.27 (73)专利权人 江苏迈睿科半导体科技有限公司 地址 226500 江苏省南通市如皋市丁堰镇 兴堰路8号15#B栋厂房 (72)发明人 仇建明　仲明飞　 (74)专利代理机构 北京国坤专利代理事务所 (普通合伙) 11491 专利代理师 赵红霞 (51)Int.Cl. H01L 21/67 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 (54)实用新型名称 一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装 置 (57)摘要 本实用新型涉及单片晶圆的清洗取干装置 技术领域，尤其为一种用于超小尺寸单片晶圆的 清洗取干装置，包括清洗装置、清洗喷头、装置本 体和固定组件，清洗装置下端设有清洗喷头，装 置本体前端固定连接有收集装置，收集装置右端 固定连接有出水管，装置本体下端内侧固定连接 有支撑板，支撑板上端固定连接有吸风机，吸风 机上端固定连接有输风管，装置本体左右两端内 侧固定连接有防水板，防水板上端固定连接有固 定组件，本实用新型中，通过设置吸风机，吸风机 通过吸附孔对单片晶圆进行吸附固定，改变了固 U 定组件对单片晶圆固定的方式，进而减少固定组 8 件与单片晶圆接触位置堆积化学清洁液的结晶， 9 4 1 提高了单片晶圆