一种金刚石铜基复合材料及其制备方法2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116926494 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202310986130.6 (22)申请日 2023.08.07 (71)申请人 深圳市博源碳晶科技有限公司 地址 518055 广东省深圳市南山区桃源街 道平山社区平山一路北桑泰丹华园二 期4-09D (72)发明人 陈旺寿　郭悦　 (74)专利代理机构 北京格允知识产权代理有限 公司 11609 专利代理师 刘晓 (51)Int.Cl. C23C 16/02 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 (54)发明名称 一种金刚石铜基复合材料及其制备方法 (57)摘要 本发明涉及一种金刚石铜基复合材料及其 制备方法。所述方法包括如下步骤：通过电感耦 合等离子体法或阳极层离子源照射方式对金刚 石粉末进行处理，得到粗糙化金刚石粉末；通过 等离子体增强原子层沉积方法在所述粗糙化金 刚石粉末的表面制备第一镀覆层，然后在第一镀 覆层的基础上制备第二镀覆层，得到镀覆金刚石 粉末；所述第一镀覆层为金属单质镀覆层；所述 第二镀覆层为铜镀覆层；以镀覆金刚石粉末和铜 粉为原料通过增材制造制得金刚石铜基复合材 料。本发明可以制备出高热导率、高致密度和形