一种抗反射涂料组合物及其制备方法以及光刻胶图案的形成方法2023

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115948095 A (43)申请公布日 2023.04.11 (21)申请号 202310094469.5 (22)申请日 2023.02.10 (71)申请人 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 地址 361027 福建省厦门市海沧区东孚镇 山边路389号 (72)发明人 易荣坤　林国清　王静　毛鸿超　 (74)专利代理机构 厦门荔信律和知识产权代理 有限公司 35282 专利代理师 赖秀华 (51)Int.Cl. C09D 161/32 (2006.01) C08G 12/40 (2006.01) C08G 12/12 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 (54)发明名称 一种抗反射涂料组合物及其制备方法以及 光刻胶图案的形成方法 (57)摘要 本发明属于光刻领域，涉及一种抗反射涂料 组合物及其制备方法以及光刻胶图案的形成方 法。所述抗反射涂料组合物中含有聚硫代缩醛、 产酸剂、有机溶剂以及任选的添加剂；所述聚硫 代缩醛包括衍生自硫代二醇的结构单元以及衍 生自烷氧基甘脲的结构单元。本发明提供的抗反 射涂料组合物兼具有高折射率和优异的刻蚀速 率，极具工业应用前景。 A 5 9 0 8 4 9 5 1 1 N C CN 115948095 A 权　利　要　求　书