一种图案化石墨烯硅晶圆制备方法及设备2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117842994 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202410027731.9 (22)申请日 2024.01.09 (71)申请人 深圳前海石墨烯产业有限公司 地址 518000 广东省深圳市前海深港合作 区南山街道前海深港合作区前湾一路 63号万科前海企业公馆21栋B单元1层 101 (72)发明人 潘登　李炜康　 (74)专利代理机构 广东众赢专利代理事务所 (普通合伙) 44423 专利代理师 樊宝忠 (51)Int.Cl. C01B 33/02 (2006.01) C01B 32/182 (2017.01) C01B 32/194 (2017.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图1页 (54)发明名称 一种图案化石墨烯硅晶圆制备方法及设备 (57)摘要 本发明涉及一种图案化石墨烯硅晶圆制备 方法，包括以下步骤：对硅晶圆表面进行活化处 理；使用石墨烯分散液在所述硅晶圆上涂覆特定 的图案，形成石墨烯分散液膜，所述分散液为氧 化石墨烯或石墨烯；将涂覆完成的后的石墨烯分 散液膜晾干，形成氧化石墨烯膜；对氧化石墨官 能化的氧化烯膜加热固化处理；将加热后的硅晶 圆置于还原性气氛下；通过激光对置于还原性气 氛下氧化石墨烯膜照射，得到生长了图案化石墨 烯的硅晶圆；通过本发明的方法，形成了图案化 的石墨烯硅晶圆，从而