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PCT发明

输送反应物气体的处理系统和方法

2023-05-12 12:00:31 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080062904.0
  • 公开（公告）日：2024-10-29
  • 公开（公告）号：CN114599816A
  • 申请人：应用材料公司
摘要：本文描述的实施方式总体涉及输送反应物气体的处理系统和方法。处理系统包括基板支撑系统、注入锥和进口。注入锥包括线性舵。线性舵设置成使得反应物气体通过注入锥的流动造成在基板的特定部分上的膜生长。方法包括以下步骤：使气体流动通过注入锥并且将气体输送到下面的基板上。反应物气体的局部化允许在基板的特定部分上的膜生长。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114599816 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202080062904.0 埃里克 ·肖诺　劳拉 ·哈夫雷查克　 埃里卡 ·汉森　 (22)申请日 2020.09.09 托宾 ·卡芙曼 ·奥斯本　汉瑟 ·劳　 (30)优先权数据 卡尔蒂克 ·萨哈　 62/897,900 2019.09.09 US (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 16/776,204 2020.01.29 US 有限公司 11006 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 专利代理师 徐金国　赵静 2022.03.08 (51)Int.Cl. (86)PCT国际申请的申请数据 C23C 16/455 (2006.01) PCT/US2020/049853 2020.09.09

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