一种硅烷气体输送的控制箱2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116697271 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310698883.7 (22)申请日 2023.06.13 (71)申请人 深圳沃飞科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区福海街 道新和社区新兴工业园三区一期7号2 层东边 (72)发明人 曹中华　何志飞　陈仕俊　 (74)专利代理机构 深圳快马新生专利商标代理 事务所(普通合伙) 44996 专利代理师 占龙凤 (51)Int.Cl. F17D 1/02 (2006.01) F17D 3/01 (2006.01) F17D 5/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 (54)发明名称 一种硅烷气体输送的控制箱 (57)摘要 本发明涉及气压控制技术领域，具体为一种 硅烷气体输送的控制箱，包括气体输送管，气体 输送管的上端固定连接有控制箱，控制箱的中间 为中空结构，控制箱的上端设有泄压罐，泄压罐 的两侧都固定连接有连接管，两个连接管都与控 制箱的侧端固定连接，控制箱的下端左侧设有泄 压孔，控制箱箱的下端右侧设有排气孔，泄压孔 和排气孔分别与两个连接管连通，泄压孔处内部 滑动连接有第一密封橡胶头，第一密封橡胶头的 上端固定连接有驱动控制机构，驱动控制机构由 控制块、导向斜面、辅助板和辅助轮组成，排气孔 的中间设有第二密封橡胶头，控制箱的中间设有 A 安装腔，本