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用于平面工件的湿式处理的设备、用于所述设备的单元的装置及操作所述设备的方法

2023-05-09 11:52:44 发布于四川 0

申请专利号：CN202080070035.6
公开（公告）日：2024-10-25
公开（公告）号：CN114502779A
申请人：德国艾托特克有限两合公司

摘要：本发明公开一种用于平面工件的湿式处理的设备的单元的装置，其包括包括第一(13a)及第二壁(13b)的结构。所述工件可在中心平面(4)中在第一方向(y)上移动通过所述第一壁(13a)与所述第二壁(13b)之间的空间(3)。用于将加压液体引入所述第一壁(13a)与所述第二壁(13b)之间的孔隙(27)提供于所述中心平面(4)的相对侧上且面向所述中心平面(4)。所述孔隙(27)在所述第一方向(y)及横向于所述第一方向(y)的第二方向(x)上分布。用于使所述液体离开所述空间(3)的排放开口(28a、28b)沿着所述空间(3)在所述第一方向(y)上的范围界定于在所述第二方向(x)上所见的相对侧上。所述第一壁(13a)及所述第二壁(13b)形成对来自所述空间的在垂直于所述中心平面(4)的方向(z)上的液体流的屏障。穿过所述壁(13a、13b)提供通道(23a、23b、24a、24b)，每一通道(23a、23b、24a、24b)经配置以将液体传导到所述孔隙(27)中的相应一者。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114502779 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202080070035.6 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 (22)申请日 2020.09.11 专利代理师林斯凯 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 19196994.8 2019.09.12 EP C25D 5/08 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C25D 5/18 (2006.01) 2022.04.06 C25D 17/02 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 C23C 18/16 (2006.01) PCT/EP2020/075459 2020.09.11 C25F 7/00 (2006.01) C25D 7/00 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据

用于平面工件的湿式处理的设备、用于所述设备的单元的装置及操作所述设备的方法

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