卷绕式处理设备及处理方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116479412 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202310453614.4 (22)申请日 2023.04.24 (71)申请人 江苏微导纳米科技股份有限公司 地址 214028 江苏省无锡市新吴区新硕路 9-6号厂房 (72)发明人 李强强　李翔　陈少炜　左敏　 糜珂　陈佳男　 (74)专利代理机构 上海恒锐佳知识产权代理事 务所(普通合伙) 31286 专利代理师 侯林林 (51)Int.Cl. C23C 16/54 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 卷绕式处理设备及处理方法 (57)摘要 本发明提供了一种卷绕式处理设备，包括放 卷装置、镀膜装置和收卷装置。所述镀膜装置包 括镀膜导向部和下喷淋部，所述下喷淋部设置于 所述镀膜导向部下方，配置为朝向所述柔性基材 的第二表面提供工艺气体，使得所述下喷淋部向 所述第二表面提供工艺气体的过程中即使产生 颗粒，绝大部分颗粒也会因重力作用落下而不会 聚集在所述第二表面，从而防止颗粒污染；所述 下喷淋部配置为平行于所述柔性基材的延伸方 向设置，有利于确保镀膜均匀性。 A 2 1 4 9 7 4 6 1 1 N C CN 116479412 A