一种氧化物靶材及其制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116199497 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202211636891.0 (22)申请日 2022.12.16 (71)申请人 华南理工大学 地址 510000 广东省广州市天河区五山路 (72)发明人 徐苗　徐华　李民　陶洪　邹建华　 王磊　彭俊彪　 (74)专利代理机构 广州容大知识产权代理事务 所(普通合伙) 44326 专利代理师 温纯 (51)Int.Cl. C04B 35/01 (2006.01) C04B 35/622 (2006.01) C04B 35/638 (2006.01) 权利要求书1页 说明书19页 附图2页 (54)发明名称 一种氧化物靶材及其制备方法 (57)摘要 本发明涉及半导体材料技术领域，具体涉及 一种氧化物靶材及其制备方法。所述氧化物靶材 包括元素A的氧化物、元素B的氧化物、元素R的氧 化物和元素M的氧化物；所述元素A为铟；所述元 素B为镓、锌、锡中的一种或两种以上的组合 ；所 述元素R为铈、镨、镱、镝、铽中的一种或两种以上 的组合；所述元素M为钪，硅，钛，钽，锗，锑的一种 或两种以上组合。本发明通过在氧化物靶材中引 入M的氧化物，细化了氧化物靶材的晶粒尺寸，使 氧化物靶材致密度高 ，元素分布与微观结构均 匀。此外，本发明提供的制备方法可以实现控制 氧化物靶材晶相结构的目的，使氧化物靶材具有 A 较小的晶粒尺寸且微观结构均匀