一种模块化旋转式空间原子层沉积系统

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113174589 A (43)申请公布日 2021.07.27 (21)申请号 202110550084.6 (22)申请日 2021.05.20 (71)申请人 北京态锐仪器科技有限公司 地址 101300 北京市顺义区昌金路赵全营 段56号院1号楼3层3067室 (72)发明人 张雨晴　 (74)专利代理机构 北京智丞瀚方知识产权代理 有限公司 11810 代理人 秦全 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书1页 说明书9页 附图6页 (54)发明名称 一种模块化旋转式空间原子层沉积系统 (57)摘要 本发明涉及空间原子层沉积技术领域，提供 了一种模块化旋转式空间原子层沉积系统，包 括：第一壳体，第一壳体是由多个相同的可拆卸 相连的单元腔室组合而成的环形结构，每个单元 腔室内均间隔设有多个隔断以将单元腔室分割 成多个功能区域腔；多段传动导轨，多段传动导 轨上设有多个用于放置晶圆的托盘，多个托盘一 一对应地与多个单元腔室相对应，每一段传动导 轨设置在第一壳体内的每一个单元腔室中，当单 元腔室组合成第一壳体时，多段传动导轨形成闭 环，以使多个托盘在多个单元腔室内循环移动； 通过将第一壳体设置成环形结构，具有空间紧 A 凑，本系统可以将系统配件放置在环形中央，利 9 于产线布局。 8 5 4 7 1 3 1 1 N C CN 113174589 A