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发明

确定带电粒子束的亮度的方法、确定带电粒子束的源的大小的方法和带电粒子束成像装置2026

2024-04-21 07:14:52 发布于四川 161
  • 申请专利号：CN202311206290.0
  • 公开（公告）日：2026-03-20
  • 公开（公告）号：CN117894657A
  • 申请人：ICT集成电路测试股份有限公司
摘要：描述了一种确定在带电粒子束成像装置(100)中由聚焦透镜(120)朝样品(10)聚焦的带电粒子束(11)的亮度(Br)的方法。所述方法包括：(a)用所述带电粒子束成像装置拍摄所述样品的一个或多个图像(hf,1...N)；(b)从所述一个或多个图像检索所述带电粒子束的一个或多个束轮廓(gf,1...N)；以及(c)至少基于所述一个或多个束轮廓(gf,1...N)、所述带电粒子束的探针电流(IP)和所述带电粒子束的着陆电势(LE)来确定所述带电粒子束(11)的所述亮度(Br)。任选地，如上确定的所述亮度(Br)可用于确定所述带电粒子束(11)的源(105)的尺寸(Dvirt)。另外，提供了一种被配置用于本文所述的方法中的任一者的带电粒子束成像装置(100)。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117894657 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202311206290.0 (22)申请日 2023.09.18 (30)优先权数据 17/966,385 2022.10.14 US (71)申请人 ICT集成电路测试股份有限公司 地址 德国巴伐利亚州 (72)发明人 布鲁尔 ·约翰　埃伯格 ·多米尼克　 费尔克斯·马蒂亚斯　 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 有限公司 11006 专利代理师 徐金国　吴启超 (51)Int.Cl. H01J 37/22 (2006.01) H01J 37/28 (2006.01) 权利要求书3页 说明书15页 附图4页 (54)发明名称 确定带电粒子束的亮度的方法、确定带电粒 子束的源的大小的方法和带电粒子束成像装置 (57)摘要 描述了一种确定在带电粒子束成像装置 (100)中由聚焦透镜(120)朝样品(10)聚焦的带 电粒子束(11)的亮度(B )的方法。所述方法包 r 括：(a)用所述带电粒子束成像装置拍摄所述样 品的一个或多个图像(hf ,1 ...N) ；(b)从所述一个 或多个图像检索所述带电粒子束的一个或多个 束轮廓(gf ,1 ...N) ；以及(c)至少基于所述一个或 多个束轮廓(g )、所述带电粒子束的探针电

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