一种薄膜蒸镀装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113981408 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111340957.7 (22)申请日 2021.11.12 (71)申请人 重庆金美新材料科技有限公司 地址 404100 重庆市綦江区古南街道陵园 路28号 (72)发明人 臧世伟　 (74)专利代理机构 深圳市深可信专利代理有限 公司 44599 代理人 李宇绘 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书4页 说明书10页 附图6页 (54)发明名称 一种薄膜蒸镀装置 (57)摘要 本发明公开了一种薄膜蒸镀装置，包括真空 腔体，所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置 到所述本体的开口端的盖板，所述本体具有相对 的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四 侧壁，还包括设置到所述本体内的第一辊筒组 件，所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组 件；所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相 对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊 和第一收卷辊；所述本体的内部设有用于对薄膜 的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和 第一上部蒸发源。本发明可实现薄膜的两面的镀 膜工作，生产效率高，生产成本低，生产时间少， A 生产场地的占用空间小。 8 0 4 1 8 9 3 1 1 N C CN 113981408 A