一种具有耐磨性能的二硫化钼复合薄膜及其制备方法和应用

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114892142 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210652461.1 (22)申请日 2022.06.10 (71)申请人 烟台先进材料与绿色制造山东省实 验室 地址 264006 山东省烟台市经济技术开发 区长江路300号业达科技园研发楼5 (72)发明人 张霞　王可丽　周璇　王晓波　 周峰　刘维民　 (74)专利代理机构 郑州联科专利事务所(普通 合伙) 41104 专利代理师 张丽 (51)Int.Cl. C23C 16/30 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图13页 (54)发明名称 一种具有耐磨性能的二硫化钼复合薄膜及 其制备方法和应用 (57)摘要 本发明属于复合纳米材料技术领域，具体涉 及一种具有耐磨性能的二硫化钼复合薄膜及其 制备方法和应用。本发明通过对原料及制备工艺 进行调整，使其具有优异的摩擦学性能，从而解 决传统磁控溅射技术制备得到的二硫化钼薄膜 硬度低和摩擦系数较高的问题。本发明制备方法 简单、价格低廉，与传统的沉积方法相比，不要求 源溶液具有良好的挥发性，只要能够溶解在容易 产生气溶胶的有机溶剂中即可。本发明的制备方 法采用气凝胶辅助化学气相沉积制备复合薄膜， 所得复合薄