一种蒸镀装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116145087 A (43)申请公布日 2023.05.23 (21)申请号 202310180467.8 (22)申请日 2023.02.28 (71)申请人 固安翌光科技有限公司 地址 065500 河北省廊坊市固安县新兴产 业示范园区东方街临12号 (72)发明人 郭宝康　张国辉　胡永岚　陈旭　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 蔡舒野 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图5页 (54)发明名称 一种蒸镀装置 (57)摘要 本发明公开了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包 括：设置有蒸镀气体出口的蒸镀源存储装置；蒸 镀气流导向装置包括导向通道；蒸镀气体出口的 所在平面和待蒸镀基板的所在平面的高度差为 第一距离，蒸镀气体出口的中心在待蒸镀基板的 所在平面的正投影点和待蒸镀基板的中心之间 的距离为第二距离；导向通道中的蒸镀气体的气 流方向和蒸镀气体出口的所在平面的夹角大于 等于第一距离和第二距离比值的反正切函数值， 小于等于预设角度，预设角度的补角为第一距离 与第三距离比值的反正切函数值，第三距离等于 待蒸镀基板的中心到边缘的距离与第二距离的 A 差值，第二距离和第三距离在同一直线，且位于 7 待蒸镀基板的中心的同一