一种用于扩散炉中的炉门结构及扩散炉2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117109309 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311156854.4 (22)申请日 2023.09.07 (71)申请人 江苏微导纳米科技股份有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区新硕路 9-6-2号 (72)发明人 毛文瑞　陈程　浦锡伟　 (74)专利代理机构 北京市盈科律师事务所 11344 专利代理师 张晶 (51)Int.Cl. F27D 1/18 (2006.01) F27B 17/00 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 21/22 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种用于扩散炉中的炉门结构及扩散炉 (57)摘要 本发明公开了一种用于扩散炉中的炉门结 构及扩散炉，包括金属炉门、悬挂组件和热辐射 阻挡件，所述金属炉门和所述热辐射阻挡件通过 所述悬挂组件活动连接。本发明中的热辐射阻挡 件悬挂在金属炉门上构成组合炉门结构，可以同 时避免炉门采用石英材质易碎或采用金属材质 会对扩散工艺造成污染。由于采用悬挂安装方 式，热辐射阻挡件与金属炉门的安装和拆卸更加 简单，调节更加方便。 A 9 0 3 9 0 1 7 1 1 N C CN 117109309 A 权　利　要　求　书