便于连续改性的等离子体浸没离子注入装置2025
- 申请专利号:CN202311560568.4
- 公开(公告)日:2025-07-01
- 公开(公告)号:CN117626209A
- 申请人:中南大学
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117626209 A (43)申请公布日 2024.03.01 (21)申请号 202311560568.4 (22)申请日 2023.11.21 (71)申请人 中南大学 地址 410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南 路932号 (72)发明人 唐进元 沈小程 姜婷婷 朱江平 (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 44205 专利代理师 黄全发 (51)Int.Cl. C23C 14/48 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图6页 (54)发明名称 便于连续改性的等离子体浸没离子注入装 置 (57)摘要 本发明公开了一种便于连续改性的等离子 体浸没离子注入装置,包括安装台、处理室、预处 理室以及耙架,安装台设有通口,处理室连接于 安装台的顶端,处理室设有进气口,处理室的底 端设有第一开口,预处理室滑动安装于安装台的 底端,预处理室设有第一真空口,预处理室的顶 端设有第二开口,预处理室能够滑动至使第二开 口与通口连通或者分离,耙架安装于预处理室 内,其中,安装台设有第一封门和/或处理室设有 第二封门,安装台的底面贴合于预处理室的顶面 和/或预处理室设有第三封门。本发明的便于连 A 续改性的等离子体浸没离子注入装置,能够极大 9 缩短改性以外所需的作业时间,有利于等离子体 0 2 6 浸没离子注入改性技术进一步在工业领域中得
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