一种连续多卷高效镀膜机及其镀膜工艺

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114086148 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111396927.8 (22)申请日 2021.11.23 (71)申请人 重庆金美新材料科技有限公司 地址 404100 重庆市綦江区古南街道陵园 路28号 (72)发明人 臧世伟　 (74)专利代理机构 深圳市深可信专利代理有限 公司 44599 代理人 李宇绘 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种连续多卷高效镀膜机及其镀膜工艺 (57)摘要 本发明公开了一种连续多卷高效镀膜机及 其镀膜工艺，包括真空蒸镀腔体，还包括设置在 真空蒸镀腔体内的辊筒组件、蒸发源；所述辊筒 组件包括滚筒、以及设置在滚筒上的过辊。本发 明提供的连续多卷高效镀膜机，通过增设辊筒组 件，可实现连续多卷同时镀膜，且可以实现双面 镀膜，镀膜效率高，厚度均匀。 A 8 4 1 6 8 0 4 1 1 N C CN 114086148 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种连续多卷高效镀膜机，其特征在于：包括真空蒸镀腔体，还包括设置在真空蒸镀 腔体内的辊