一种大尺寸硅片金刚线切割液、其制备方法和用途2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117089389 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202311014033.7 (22)申请日 2023.08.11 (71)申请人 浙江奥首材料科技有限公司 地址 324012 浙江省衢州市杜鹃路36号 (72)发明人 侯军　吕婧　李传友　褚雨露　 (74)专利代理机构 深圳紫藤知识产权代理有限 公司 44570 专利代理师 常孟 (51)Int.Cl. C10M 173/02 (2006.01) C10N 30/04 (2006.01) 权利要求书1页 说明书9页 附图1页 (54)发明名称 一种大尺寸硅片金刚线切割液、其制备方法 和用途 (57)摘要 本申请公开了一种大尺寸硅片金刚线切割 液、其制备方法和用途，切割液包括了润湿剂、渗 透剂、分散剂和去离子水，且分散剂为嵌段共聚 物聚苯乙烯‑聚乳酸，本申请采用具有类似梳子 形状的分散剂，提高切割硅片产生的硅粉的分散 性，有效防止硅粉团聚，同时可以减弱硅粉在硅 片上的附着力，使其更容易被切割液冲走；此外， 该分散剂对硅片还具有润湿作用，与润湿剂同时 使用可以显著提高切割液体系的润湿性，加强切 割液的切割能力，减少线痕、加切等问题。 A 9 8 3 9 8 0 7 1 1 N C CN 117089389 A 权　利　要　求　书 1/1