一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117888777 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202211220170.1 E05B 65/52 (2006.01) (22)申请日 2022.10.08 (71)申请人 无锡芯享信息科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大 道200号中国传感网国际创新园G10- 1006 (72)发明人 请求不公布姓名　请求不公布姓名　 请求不公布姓名　请求不公布姓名　 请求不公布姓名　请求不公布姓名　 请求不公布姓名　 (74)专利代理机构 北京领时辉专利代理事务所 (普通合伙) 33330 专利代理师 王传金 (51)Int.Cl. E05B 49/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜 控制系统 (57)摘要 本发明涉及光罩盒智能货柜技术领域，用于 解决现有的对光罩盒智能货柜的控制方式中，难 以对光罩盒出入库出现的故障进行及时的排查 分析，无法实现光罩盒正确、高效的出入库操作 的问题，尤其公开了一种用于半导体晶圆厂的光 罩盒智能货柜控制系统，包括货柜控制平台，货 柜控制平台的内部设置有服务器，服务器通信连 接有数据采集单元、货柜存储状态分析单元、光 罩盒入库控