槽体盖板组件及湿法刻蚀设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219180482 U (45)授权公告日 2023.06.13 (21)申请号 202320323051.2 (22)申请日 2023.02.27 (73)专利权人 苏州晶洲装备科技有限公司 地址 215555 江苏省苏州市常熟市辛庄镇 新阳大道136号 (72)发明人 张帆　施利君　宋金林　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 贾爱存 (51)Int.Cl. H01L 21/67 (2006.01) B01D 53/26 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)实用新型名称 槽体盖板组件及湿法刻蚀设备 (57)摘要 本实用新型属于半导体刻蚀技术领域，公开 了一种槽体盖板组件及湿法刻蚀设备。其中槽体 盖板组件用于封闭刻蚀槽的上端开口，包括盖体 和吸湿结构，盖体内设置有空腔，吸湿结构置于 所述空腔中 ，盖体的下表面还设置有多个通风 孔，所有通风孔与空腔连通 ；湿法刻蚀设备包括 上述槽体盖板组件。在刻蚀过程中 ，刻蚀槽内的 酸性液体受热挥发，产生酸雾，酸雾通过通风孔 导入槽体盖板组件的空腔中，被吸湿结构吸收 ， 防止酸雾凝结之后滴落导致的刻蚀不均，提高蚀 刻均匀性，保证了产品的良品率。 U 2 8 4 0 8 1 9 1 2 N C CN 219180482 U 权　利　要　求　书