用于检查的装置、方法及记录用于检查的命令的记录介质

专利内容

本公开提供一种装置。根据本公开的一种装置包括：至少一个第一光源，所述至少一个第一光源向位于基准面上的对象体照射照明光；一个以上的摄像头，所述一个以上的摄像头捕获(capture)所述照明光从所述对象体反射而生成的一个以上的照明图像；及一个以上的处理器，所述处理器，可以在所述一个以上的照明图像上确定表示所述对象体的边角(edge)的一个以上的轮廓线，基于所述一个以上的轮廓线确定所述对象体上面的边角相对于所述基准面所具有的高度值，基于所述高度值确定所述对象体上面与所述基准面之间的第一角度。H01L21/67(2006.01);H01L21/66(2006.01)