一种摇摆机构及电镀辅助装置2024
- 申请专利号:CN202322585706.6
- 公开(公告)日:2024-04-19
- 公开(公告)号:CN220812665U
- 申请人:吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220812665 U (45)授权公告日 2024.04.19 (21)申请号 202322585706.6 C25D 7/12 (2006.01) (22)申请日 2023.09.22 (73)专利权人 吉姆西半导体科技(无锡)股份有 限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇 泾祥路1号 (72)发明人 林海飞 孙永胜 李松松 祁志明 李程 (74)专利代理机构 苏州京昀知识产权代理事务 所(普通合伙) 32570 专利代理师 顾友 (51)Int.Cl. C25D 17/00 (2006.01) C25D 21/10 (2006.01) C25D 21/04 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)实用新型名称 一种摇摆机构及电镀辅助装置 (57)摘要 本申请公开了一种摇摆机构及电镀辅助装 置,涉及电镀设备技术领域。其包括旋转驱动组 件及摇摆组件,旋转驱动组件的输出轴连接有第 一传递件,第一传递件连接有与其同步运动的第 二传递件;摇摆组件包括滑动板,滑动板设有用 于第二传递件插设的导向槽,滑动板连接有摆动 单元,旋转驱动组件用于驱动第二传递件沿导向 槽的槽长方向往复运动并始终与导向槽的内侧 壁抵接,以带动摆动单元做线性运动。通过将摆 动单元设置在槽