用于沉积压电材料的方法和装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114901855 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 201980103376.6 (51)Int.Cl. C23C 14/06 (2006.01) (22)申请日 2019.12.31 H03H 3/02 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.06.28 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/CN2019/130795 2019.12.31 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/134606 EN 2021.07.08 (71)申请人 应用材料公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 孙立中　杨晓东　 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 有限公司 11006 专利代理师 徐金国　赵静 权利要求书3页 说明书13页 附图8页 (54)发明名称 用于沉积压电材料的方法和装置 (57)摘要 本文中所公开的实例与在基板上形成薄膜 层的装置和方法相关。在第一腔室中在所述基板 上沉积第一压电材料层。所述第一压电材料层在 所述基板处于第一温度的同时形成于所述基板 上。在将所述基板冷却到第二温度之后，在所述 第一压电材料层上沉