源瓶送气系统及源瓶送气系统保护方法2026

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117823803 A (43)申请公布日 2024.04.05 (21)申请号 202311596419.3 (22)申请日 2023.11.27 (71)申请人 珠海格力电子元器件有限公司 地址 519070 广东省珠海市高新区唐家湾 镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1 层428室（集中办公区） 申请人 珠海格力电器股份有限公司 (72)发明人 陈春河　 (74)专利代理机构 北京聿宏知识产权代理有限 公司 11372 专利代理师 吴大建　张晓梅 (51)Int.Cl. F17C 13/00 (2006.01) F17C 13/04 (2006.01) F17C 13/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图1页 (54)发明名称 源瓶送气系统及源瓶送气系统保护方法 (57)摘要 本发明涉及一种源瓶送气系统及源瓶送气 系统保护方法，涉及半导体技术领域。本发明的 源瓶送气系统包括源瓶、进气管路以及出气管 路；所述源瓶用于存放待使用物料；所述进气管 路与所述源瓶相连，所述进气管路上设有进气安 全旁路；所述出气管路与所述源瓶相连，所述出 气管路上设有出气安全旁路；其中，所述进气安 全旁路的泄放压力大于所述出气安全旁路的泄 放压力。本发明所公开的技术方案能够解决现有 由于源瓶送气系统的阀件老化卡死、管道被折弯 或被异物堵塞、人为忘