一种微纳光学器件制造方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112731763 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011624409.2 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 嘉兴驭光光电科技有限公司 地址 314500 浙江省嘉兴市桐乡市高桥大 道1156号3幢8楼 (72)发明人 张亮　赵辉　张国伟　 (74)专利代理机构 北京方可律师事务所 11828 代理人 吴艳　郝东晖 (51)Int.Cl. G03F 7/00 (2006.01) G02B 5/18 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种微纳光学器件制造方法 (57)摘要 本申请公开了一种微纳光学器件制造方法。 该方法中将分别形成有不同微纳结构的基板进 行切割和拼接，然后转印得到一体的模板，并利 用该一体的模板通过微纳米压印进行复制生产。 这样的微纳光学器件制造方法能够简单高效地 实现双结构甚至乃至多结构微纳光学器件的批 量生产，而且使得对于不同的微纳结构能够采用 适宜的常规工艺来制造，有利于简化制造工艺， 降低成本。 A 3 6 7 1 3 7 2 1 1 N C CN 112731763 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种微纳光学器件制造方法，包括： 将形成有第一微纳结构的第一基板按照第一预定尺寸切割，得到第