一种体声波谐振器及其制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118074653 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202410194898.4 (22)申请日 2024.02.21 (71)申请人 武汉敏声新技术有限公司 地址 430000 湖北省武汉市东湖新技术开 发区花城大道9号武汉软件新城三期 D7栋4层01号 (72)发明人 孙博文　童欣　周杰　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇知识产权代理 有限公司 11463 专利代理师 刘锋 (51)Int.Cl. H03H 9/02 (2006.01) H03H 9/13 (2006.01) H03H 3/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图7页 (54)发明名称 一种体声波谐振器及其制备方法 (57)摘要 本申请提供一种体声波谐振器及其制备方 法，涉及谐振器技术领域，体声波谐振器包括衬 底以及依次层叠设置在衬底上的下导电层、压电 层和上导电层，下导电层、压电层和上导电层在 层叠方向具有交叠区域，在交叠区域外设置有位 于上导电层和压电层之间的第一空腔，在第一空 腔内设置有多个第一支撑柱，第一支撑柱支撑于 压电层和上导电层之间，多个第一支撑柱将第一 空腔划分为多个通孔，多个通孔沿交叠区域中心 至边界的方向排布。利用多个通孔与第一支撑柱 以及上导电层形成的阻抗不匹配，对横向声波进 行多次反射，以改善体声波谐振器的品质因子并 A 且优化体声波谐振