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发明

一种制备钙钛矿薄膜的装置和方法2024

2024-03-31 07:33:57 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202311718180.2
  • 公开（公告）日：2024-12-06
  • 公开（公告）号：CN117779164A
  • 申请人：北京烁威光电科技有限公司
摘要：本发明公开了一种制备钙钛矿薄膜的装置和方法，该装置包括：成膜控制容器、第一加热装置和供气容器，成膜控制容器设置有用于放置大面积钙钛矿多晶薄膜的水平放置区，且还设置有可选择性与大气连通的排气口，排气口处对应设置有精密气阀。供气容器通过连通管与成膜控制容器连通，且连通管上还设置有第一开闭气阀，连通管上或成膜控制容器上还设置有用于检测其内部压力的压力检测装置，供气容器还设置有带第二开关阀门的大气连通导管。该装置基于“固‑液‑固”钙钛矿薄膜成膜机理，通过气压辅助重结晶方法调控中间相转变时间从而获得单晶或类单晶级大面积钙钛矿薄膜，将体相缺陷降到最低，组装成器件后性能大幅提升。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117779164 A (43)申请公布日 2024.03.29 (21)申请号 202311718180.2 H10K 71/40 (2023.01) H10K 30/50 (2023.01) (22)申请日 2023.12.14 H10K 30/40 (2023.01) (71)申请人 北京烁威光电科技有限公司 地址 100085 北京市海淀区上地十街1号院 1号楼16层1604 (72)发明人 杨晓宇　涂用广　包征　叶冯俊　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇知识产权代理 有限公司 11463 专利代理师 覃蛟 (51)Int.Cl. C30B 1/02 (2006.01) C30B 1/12 (2006.01) C30B 29/54 (2006.01) C30B 33/02 (2006.01) H10K 71/16 (2023.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图2页 (54)发明名称 一种制备钙钛矿薄膜的装置和方法 (57)摘要 本发明公开了一种制备钙钛矿薄膜的装置 和方法，该装置包括：成膜控制容器、第一加热装 置和供气容器，成膜控制容器设置有用于放置大 面积钙钛矿多晶薄膜的水平放置区，且

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