光注入退火设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220774397 U (45)授权公告日 2024.04.12 (21)申请号 202420506949.8 (22)申请日 2024.03.15 (73)专利权人 拉普拉斯（西安）科技有限责任公 司 地址 710000 陕西省西安市西咸新区泾河 新城崇文镇泾河三街76号光电子学研 究与创新中心3号楼3-4层 (72)发明人 祁文杰　卢秋霞　刘群　 (74)专利代理机构 深圳市赛恩倍吉知识产权代 理有限公司 44334 专利代理师 吝金环 (51)Int.Cl. H01L 31/18 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (54)实用新型名称 光注入退火设备 (57)摘要 本申请属于太阳能电池制造技术领域，涉及 一种光注入退火设备，该光注入退火设备包括工 艺腔、温控组件、灯源组件以及进气组件，温控组 件安装于工艺腔；灯源组件安装于温控组件上 方；进气组件至少部分位于工艺腔内，且进气组 件位于工艺腔内的部分开设有气孔，进气组件被 配置为通过气孔向工艺腔内通入工艺气体。该光 注入退火设备不仅能够在对太阳能电池片进行 光照的同时，通过进气组件向工艺腔内通入工艺 气体，以提高太能电池片的钝化效果，还能够通 过温控组件，实现对太阳能电池片温度的控制调 节，保证太阳能电池片始终处于较佳的工艺温 U 度。 7