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PCT发明

加热器的温度控制方法、加热器和载置台

2023-06-23 07:19:18 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080009533.X
  • 公开（公告）日：2024-11-22
  • 公开（公告）号：CN113330819A
  • 申请人：东京毅力科创株式会社
摘要：一种加热器的温度调节方法，所述加热器包括：由半导体基片构成的1片板状部件；和在所述一片板状部件的侧面，在圆周方向上隔开间隔形成的三个以上的电极，该温度调节方法包括：在所述电极与其他的所述电极之间通电，并依次切换要通电的所述电极的组，来对所述板状部件进行加热的工序，其中，所述加热的工序中的电极间的通电时间，是按每个所述电极的组而设定的。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113330819 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202080009533.X (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限 公司 11322 (22)申请日 2020.01.16 代理人 龙淳　牛孝灵 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-011538 2019.01.25 JP H05B 3/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H05B 3/03 (2006.01) 2021.07.15 H05B 3/74 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 21/02 (2006.01) PCT/JP2020/001257 2020.01.16 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/153224 JA 2020.07.30 (71)申请人 东京

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