一种磷化铟生长材料烘烤炉2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220818552 U (45)授权公告日 2024.04.19 (21)申请号 202322457863.9 (22)申请日 2023.09.11 (73)专利权人 中讯半导体（江苏）有限公司 地址 213100 江苏省常州市武进国家高新 技术产业开发区西湖西路160号20幢 20号 (72)发明人 范博　 (51)Int.Cl. F27D 1/00 (2006.01) F27D 3/00 (2006.01) F27D 1/18 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)实用新型名称 一种磷化铟生长材料烘烤炉 (57)摘要 本实用新型公开了一种磷化铟生长材料烘 烤炉，包括炉体，所述炉体的外壁等距开设有四 个安装槽，所述炉体的外周均匀设置有四个防护 隔板，所述安装槽内安装有连接防护隔板的支撑 调节机构；所述支撑调节机构包括转动设置在安 装槽内的双向螺杆，所述双向螺杆的外壁对称设 置有两个与其适配的滑块，所述滑块的外壁转动 设置有第一连接杆，位于同一个安装槽内的两个 第一连接杆转动连接有同一个第二连接杆。本实 用新型便于通过设置的驱动机构通过支撑调节 机构实现防护隔板的扩展和收起，展开便于防 护，收起不占用空间，且在防护隔板收起时，便于 U 投料；进行烘烤时，磷化铟生长材料收在炉体内， 2 且防护隔板展开实现联动，使用方便。 5 5 8 1 8 0 2 2 N C CN 22081855