一种高频声波谐振器及应用其的滤波器

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115021705 A (43)申请公布日 2022.09.06 (21)申请号 202210742047.X (22)申请日 2022.06.27 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术 研究所 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号 (72)发明人 欧欣　吴进波　张师斌　郑鹏程　 张丽萍　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 苗芬芬 (51)Int.Cl. H03H 9/02 (2006.01) H03H 9/56 (2006.01) H03H 9/58 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图10页 (54)发明名称 一种高频声波谐振器及应用其的滤波器 (57)摘要 本发明涉及微电子技术领域，本发明公开了 一种高频声波谐振器及应用其的滤波器。该高频 声波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、 底电极、压电薄膜和叉指换能器；该叉指换能器 包括第一汇流条和多个间隔设置的第一电极；该 多个第一电极的同一侧与该第一汇流条连接；该 多个第一电极中相邻的第一电极的中心之间的 间隔距离与目标模式的频率之积小于该支撑衬 底的声速；该目标模式为该高频声波谐振器在纵 向电场作用下激发的高阶模式；本申请提供的该 声波谐振器建立在异质集成衬底上，具有结构简 单且压电薄膜强度高，仍能够保证声波谐振器的 A 品质的特点。 5