静电场和超声场作用下的粉体表面原子层沉积装置及方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116590693 A (43)申请公布日 2023.08.15 (21)申请号 202310777516.6 (22)申请日 2023.06.28 (71)申请人 江南大学 地址 214122 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大 道1800号 (72)发明人 俞建峰　范先友　夏晓露　化春键　 蒋毅　 (74)专利代理机构 哈尔滨市阳光惠远知识产权 代理有限公司 23211 专利代理师 黄婵娟 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图5页 (54)发明名称 静电场和超声场作用下的粉体表面原子层 沉积装置及方法 (57)摘要 本发明公开了一种静电场和超声场作用下 的粉体表面原子层沉积方法及装置，该装置包括 圆柱形外壳和方形反应容器；所述方形反应容器 安装于圆柱形外壳内，所述圆柱形外壳为外圆内 方的结构，其圆柱外表面包裹一圈加热片；所述 方形反应容器包括立方体框架、金属导电板、超 声波振动片、排气孔、进气孔、进料孔和底座。本 发明将静电场与超声场结合，利用超声波使团聚 的粉体颗粒解聚，粉体颗粒在静电场交变的作用 下反复运动，使粉体颗粒与反应气体充分接触反 应，从而形成均匀的、致密的、保形性好的包覆 A 层。 3 9 6 0 9 5 6 1 1 N C CN 1165906