发明

一种清洗液组合物及试剂盒

2023-06-12 12:00:44 发布于四川 0

申请专利号：CN202211369077.7
公开（公告）日：2024-03-08
公开（公告）号：CN115678693A
申请人：上海新阳半导体材料股份有限公司

摘要：本发明公开了一种清洗液组合物及试剂盒。该清洗液组合物及试剂盒包括下述质量分数的组分：氧化剂、0.001‑0.010％氧化型谷胱甘肽、半胱氨酸、0.01‑0.05％水溶性高分子、有机碱、螯合剂、缓蚀剂、羧酸铵、0.01‑0.05％EO‑PO聚合物L42和水，水补足余量。本发明的清洗液组合物及试剂盒对多种金属及介电材料缓蚀性强；可以高度选择性地移除Ti、TiN、TaN、TiNxOy硬遮罩或包含上述物质的合金的硬遮罩；对具有等离子刻蚀后残余物和灰化后残余物清洗效果佳，具有良好的应用前景。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115678693 A (43)申请公布日 2023.02.03 (21)申请号 202211369077.7 C11D 7/36 (2006.01) C11D 7/60 (2006.01) (22)申请日 2022.11.03 H01L 21/02 (2006.01) (71)申请人上海新阳半导体材料股份有限公司 H01L 21/67 (2006.01) 地址 201616 上海市松江区思贤路3600号 (72)发明人王溯　蒋闯　冯强强　翟俊杰　邢乃观　刘文奇　 (74)专利代理机构上海弼兴律师事务所 31283 专利代理师陈卓 (51)Int.Cl. C11D 7/08 (2006.01) C11D 7/10 (2006.01) C11D 7/26 (2006.01) C11D 7/32 (2006.01) C11D 7/34 (2006.01) C11D 7/02 (2006.01) 权利要求书6页说明书17页 (54)发明名称一种清洗液组合物及

一种清洗液组合物及试剂盒

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