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半导体温控装置及温控方法2026

2024-04-16 07:19:23 发布于四川 60

申请专利号：CN202311734989.4
公开（公告）日：2026-05-01
公开（公告）号：CN117870183A
申请人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

摘要：本申请涉及半导体生产设备技术领域，提供一种半导体温控装置及温控方法。半导体温控装置包括制冷系统；内循环系统，包括换热部件、载冷剂存储件和驱动泵，换热部件、载冷剂存储件的第一入口、载冷剂存储件的第一出口和驱动泵依次连通连接，换热部件与制冷系统连接，换热部件适于和制冷系统换热；载冷剂循环管路系统，载冷剂存储件的第二出口、载冷剂循环管路系统和载冷剂存储件的第二入口依次连通；控制系统，制冷系统和驱动泵均与控制系统连接。根据本申请实施例的半导体温控装置，实现了制冷系统间歇性工作的目的，降低了制冷系统的输出比，达到节能降耗的效果。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117870184 A (43)申请公布日 2024.04.12 (21)申请号 202311787288.7 (22)申请日 2023.12.22 (71)申请人珠海格力电器股份有限公司地址 519031 广东省珠海市横琴新区汇通三路108号办公608 (72)发明人余梓斌　陈勇　姜国璠　 (74)专利代理机构北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 专利代理师侯春扬 (51)Int.Cl. F25B 1/00 (2006.01) F25B 39/04 (2006.01) F25B 43/00 (2006.01) F25B 41/40 (2021.01) H05K 7/20 (2006.01) 权利要求书2页说明书5页附图6页 (54)发明名称一种冷却结构及制冷设备 (57)摘要本发明提供了一种冷却结构及制冷设备，包括：第一冷却管路，具有第一进液口和第一出液口，第一冷却管路上设置有表冷器，表冷器用于与第一冷却管路内的流体交换热量；第二冷却管路，具有第二进液口和第二出液口，第二冷却管路上设置有换热器，换热器用于与第二冷却管路内的流体交换热量；制冷组件，包括压缩机和冷凝器，压缩机的出气口与冷凝器连接，冷凝器的出口与换热器连接，从而与第二冷却管路内的流体交换热量；其中，冷凝器围成容纳腔，表冷器围绕冷凝器设置在冷

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