一种二次加料系统、方法及拉晶设备2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117702245 A (43)申请公布日 2024.03.15 (21)申请号 202311729395.4 (22)申请日 2023.12.15 (71)申请人 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 地址 710065 陕西省西安市高新区西沣南 路1888号1-3-029室 申请人 西安奕斯伟硅片技术有限公司 (72)发明人 请求不公布姓名　张鹏举　张艺楠　 江恒泽　 (74)专利代理机构 西安维英格知识产权代理事 务所(普通合伙) 61253 专利代理师 沈寒酉　李斌栋 (51)Int.Cl. C30B 15/02 (2006.01) C30B 15/20 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种二次加料系统、方法及拉晶设备 (57)摘要 本公开实施例公开了一种二次加料系统、方 法及拉晶设备，所述二次加料系统包括监测模块 和加料模块；其中，所述监测模块，用于当利用石 墨加热器对石英坩埚中盛放的第一原料进行加 热时，实时监测所述第一原料的物理形态；所述 加料模块，用于当所述监测模块监测到所述第一 原料开始熔化形成硅熔体且所述硅熔体的液面 上有部分未熔化的第一原料时，开始向所述石英 坩埚中投放设定质量的第二原料。 A 5 4 2 2 0 7 7 1 1