一种PVT炉快速降温的方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117702259 A (43)申请公布日 2024.03.15 (21)申请号 202410167161.3 (22)申请日 2024.02.06 (71)申请人 宁波合盛新材料有限公司 地址 315300 浙江省宁波市慈溪市周巷镇 周西公路1999-9号 (72)发明人 张文忠　浩瀚　赵新田　 (74)专利代理机构 宁波甬心合创知识产权代理 有限公司 33552 专利代理师 糜婧 (51)Int.Cl. C30B 23/00 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01) F27D 9/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 一种PVT炉快速降温的方法 (57)摘要 本申请公开了一种PVT炉快速降温的方法， 包括以下步骤：S1：PVT炉停止加热，向PVT炉内充 入冷却气体，冷却气体为氦气，控制PVT炉内压 强，直至PVT炉的温度不超过50℃；S2：完成降温， 向PVT炉内充入惰性气体，直至PVT炉内压力达到 大气压，取出坩埚。本申请的PVT炉快速降温的方 法，能够大幅缩短PVT炉降至常温的时间，从而提 高生产效率。 A 9 5 2 2 0 7 7 1 1 N C CN 117702259 A 权　利　要　求　书 1/1 页 1.