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PCT发明

形成方法、形成装置以及物品的制造方法

2023-06-23 08:18:41 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080014196.3
  • 公开（公告）日：2024-09-17
  • 公开（公告）号：CN113439238A
  • 申请人：佳能株式会社
摘要：一种形成方法，使用第1装置和第2装置在基板上的1个层形成图案，针对每个基板进行包括以下工序的处理：标记形成工序，利用所述第1装置在基板上形成标记；第1形成工序，利用所述第1装置在基板上形成第1图案；以及第2形成工序，利用所述第2装置在基板上形成第2图案，作为所述处理的模式，包括：第1模式，进行用所述第1装置测量所述标记的位置的测量工序，根据该测量工序的测量结果，控制所述第2图案的形成；以及第2模式，省略所述测量工序，根据上次的测量工序的测量结果，控制所述第2图案的形成。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113439238 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202080014196.3 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所 有限公司 11038 (22)申请日 2020.01.09 代理人 程晨 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-026671 2019.02.18 JP G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 21/027 (2006.01) 2021.08.13 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/000398 2020.01.09 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/170631 JA 2020.08.27 (71)申请人 佳能株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 稻村咏史　川上武人　米田慎吾　 栗田裕介　今野悠　白尾纮祥　

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