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发明

TOPCon电池高均匀性硼扩方法2024

2024-04-04 07:19:46 发布于四川 62
  • 申请专利号：CN202311748377.0
  • 公开（公告）日：2024-04-02
  • 公开（公告）号：CN117810296A
  • 申请人：中节能太阳能科技（镇江）有限公司
摘要：本发明公开了一种TOPCon电池高均匀性硼扩方法，包括进舟、升温、抽真空和检漏、前氧、多步通源、变温有氧推结、变压退火等步骤。本发明硼扩方法创造性地通过多步通源、变温有氧推结和变压退火及各步骤衔接，并给出了在此方法下，每个步骤中的温度、时间、气体流量和炉内压强等参数的最优窗口值，从而在硅片表面形成PN结，改善扩散均匀性，具有更低的表面掺杂浓度和结深，同时提升扩散后的方阻均匀性，短波响应强，减少硅片表面晶格损伤，减弱光生载流子的复合效应，具有更少的硅片内部缺陷和更高的电池片转换效率，相对减少了扩散工艺时间，降低了工艺气体成本。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117810296 A (43)申请公布日 2024.04.02 (21)申请号 202311748377.0 (22)申请日 2023.12.19 (71)申请人 中节能太阳能科技（镇江）有限公司 地址 212132 江苏省镇江市新区北山路9号 (72)发明人 周啸颖　王丽婷　韩林芝　许伟　 王金淳　孙航　黄镇　谢文君　 刘海涛　杜敬良　舒振兴　王守志　 刘阳　黄国平　 (74)专利代理机构 北京创赋致远知识产权代理 有限公司 11972 专利代理师 汤磊 (51)Int.Cl. H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/0312 (2006.01) H01L 21/225 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 (54)发明名称 TOPCon电池高均匀性硼扩方法 (57)摘要 本发明公开了一种TOPCon电池高均匀性硼 扩方法，包括进舟、升温、抽真空和检漏、前氧、多 步通源、变温有氧推结、变压退火等步骤。本发明 硼扩方法创造性地通过多步通源、变温有氧推结 和变压退火及各步骤衔接，并给出了在此方法 下，每个步骤中的温度、时间、气体流量和炉内压 强等参数的最优窗口值，从而在硅片表面形成PN 结，改善扩散均匀性，具有更低的表面掺杂浓度 和结深，同时提升扩散后的方阻均匀性，短波响 应强，减少硅片表面晶格损伤，减弱光生

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