一种FeCrAl基梯度纳米多层结构高熵合金涂层及其制备方法2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117187758 A (43)申请公布日 2023.12.08 (21)申请号 202311154925.7 (22)申请日 2023.09.08 (71)申请人 中国科学院合肥物质科学研究院 地址 230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖 路350号 (72)发明人 杨俊峰　左黎　张临超　许依春　 谢卓明　王先平　吴学邦　刘长松　 (74)专利代理机构 安徽省合肥新安专利代理有 限责任公司 34101 专利代理师 卢敏 (51)Int.Cl. C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种FeCrAl基梯度纳米多层结构高熵合金 涂层及其制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种FeCrAl基梯度纳米多层 结构高熵合金涂层及其制备方法，是利用多弧离 子镀与磁控溅射复合的方法在衬底上依次沉积 Cr薄膜与AlCr薄膜后，再通过交替沉积单层 FeCrAl薄膜和单层FeCrAlTiSiY薄膜形成 FeCrAl/FeCrAlTiSiY复合膜的多层结构。本发明 所得涂层具有高膜基结合力、高硬度、高耐磨性、 高热稳定性，满足高熵合金涂层工业应用的要 求。 A 8 5 7 7 8 1 7 1 1 N C CN 117187758 A