一种掩膜版框架及掩膜版组件

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114438444 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202210076291.7 (22)申请日 2022.01.24 (71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有 限公司 地址 518132 广东省深圳市光明新区公明 街道塘明大道9-2号 (72)发明人 匡友元　 (74)专利代理机构 深圳紫藤知识产权代理有限 公司 44570 专利代理师 方世栋 (51)Int.Cl. C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/12 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 一种掩膜版框架及掩膜版组件 (57)摘要 本申请提供一种掩膜版框架及掩膜版组件， 包括框架本体，所述框架本体开设有开窗，所述 框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部，所 述安装部用于固定掩膜版，所述开窗位于至少两 个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧。本 申请提供的掩膜版框架及掩膜版组件，由于在所 述框架本体上开设有至少两个间隔的安装部，每 个安装部用于固定一个掩膜版，当所述框架本体 与掩膜版配合时，由现有技术的一个框架本体与 一个掩膜版配合变成一个框架本体能搭配至少 两个具不同开口尺寸的掩膜版使用，也即节省了 框架本体的数