一种单晶炉热场升级的装置及方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114753003 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210408510.7 (22)申请日 2022.04.19 (71)申请人 包头美科硅能源有限公司 地址 014010 内蒙古自治区包头市昆都仑 区金属深加工园区拓业路1号 申请人 江苏美科太阳能科技股份有限公司 (72)发明人 王燕飞　王军磊　王艺澄　 (74)专利代理机构 南京利丰知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32256 专利代理师 周琪 (51)Int.Cl. C30B 27/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种单晶炉热场升级的装置及方法 (57)摘要 本发明公开了一种单晶炉热场升级的装置， 包括同轴的炉盖（1）、大直径主炉室（2）、大直径 下炉体（3）和炉底盘（4），炉盖（1）和大直径主炉 室（2）之间连有过渡法兰（5），大直径下炉体（3） 和炉底盘（4）之间连有法兰缩颈（6）；过渡法兰 （5）的内径与炉盖（1）的内腔直径相同、其外径与 大直径主炉室（2）的外径相同，大直径主炉室（2） 内径大于炉盖（1）的内腔直径；法兰缩颈（6）的外 径与大直径下炉体（3）的外径相同、其内径小于 炉底盘（4）的外径，炉底盘（4）的外径小于大直径 下炉体（3）内腔直径。本发明的优点是满足36吋 或更大的热场安装和生产需求，提高单晶炉