电子元件加热加压处理炉快速整备装置

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116481311 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202211425057.7 (22)申请日 2022.11.14 (30)优先权数据 111102886 2022.01.24 TW (71)申请人 印能科技股份有限公司 地址 中国台湾苗栗县 (72)发明人 洪誌宏　 (74)专利代理机构 北京科龙寰宇知识产权代理 有限责任公司 11139 专利代理师 李林 (51)Int.Cl. F27B 17/00 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) F27D 1/18 (2006.01) F27D 1/10 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图12页 (54)发明名称 电子元件加热加压处理炉快速整备装置 (57)摘要 本发明提供一种电子元件加热加压处理炉 快速整备装置，包括炉内设一容置空间 ；至少一 加热装置，设于容置空间中用以将容置空间内的 温度调变至一预定温度；至少一加压装置，用以 将容置空间内的压力调变至大于1atm的一预定 压力；至少一替换式隔热衬套，包含一外层及一 内层；以及一风扇，设置在容置空间中，并且经由 凸伸出腔体的一传动轴而连接至一驱动马达，借 此，受污染的及干净的替换式隔热衬套间可以快 速更换，并利用复数个径向扩张结构及复数C型 环圈迫紧于炉内，如此得以快速完成整备工作， 使停机维