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PCT发明

原料气体供给系统和原料气体供给方法

2023-05-09 10:10:04 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080063295.0
  • 公开（公告）日：2024-06-04
  • 公开（公告）号：CN114391051A
  • 申请人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明为一种对处理装置供给原料气体的原料气体供给系统，所述原料气体是通过将固体原料气化来生成的，所述原料气体供给系统包括：将所述固体原料气化来生成所述原料气体的气化装置；送出机构，其从贮存有分散系的贮存容器向所述气化装置送出所述分散系，其中，所述分散系是在液体中分散所述固态原料而成的；和分离机构，其在所述气化装置内从所述分散系中分离出所述固体原料。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114391051 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202080063295.0 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限 公司 11322 (22)申请日 2020.09.09 代理人 龙淳　徐飞跃 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-169358 2019.09.18 JP C23C 16/06 (2006.01) 2020-147372 2020.09.02 JP C23C 16/448 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 16/455 (2006.01) 2022.03.08 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/034087 2020.09.09 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/054216 JA 2021.03.25 (71)申请人 东京毅力科创株式会社

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