带准备室直线或交叉传递工件等离子体源离子注入机

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113832442 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111115246.X (22)申请日 2021.09.23 (71)申请人 哈尔滨工业大学 地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西 大直街92号 (72)发明人 马欣新　 (74)专利代理机构 哈尔滨华夏松花江知识产权 代理有限公司 23213 代理人 侯静 (51)Int.Cl. C23C 14/48 (2006.01) 权利要求书4页 说明书16页 附图3页 (54)发明名称 带准备室直线或交叉传递工件等离子体源 离子注入机 (57)摘要 带准备室直线或交叉传递工件等离子体源 离子注入机，涉及等离子体源离子注入机。为了 解决单真空室等离子体源离子注入机生产效率 低的问题。本发明带准备室直线传递工件等离子 体源离子注入机由准备室、注入室和工件转换室 构成；或带准备室交叉传递工件等离子体源离子 注入机由准备室、注入室和工件转换室构成；本 发明设置专门的注入室始终保持高真空状态，可 忽略预抽背底真空的时间，双室离子注入机能够 大幅度缩短生产周期，准备室和注入室结构基本 相同，在需要超长时间离子注入的场合，可单独 A 使用。本发明适用于离子注入。 2 4 4 2 3 8 3 1 1 N C CN 113832442 A 权　利　要　求　书