一种真空镀膜机转架转移装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218372497 U (45)授权公告日 2023.01.24 (21)申请号 202222928201.0 (22)申请日 2022.10.28 (73)专利权人 东莞市立仁爱邦涂层技术有限公 司 地址 523000 广东省东莞市寮步镇寮步松 柏路310号2栋602室 (72)发明人 黄六平　王华　 (74)专利代理机构 北京卓恒知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 11394 专利代理师 袁定田 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)实用新型名称 一种真空镀膜机转架转移装置 (57)摘要 本实用新型提供一种真空镀膜机转架转移 装置，包括具有水平顶面且底面具有若干滚轮的 支撑架，安装于所述支撑架顶面的支撑台，沿前 后方向固定于所述支撑台顶面的滑轨，以及安装 于所述支撑台顶面用于固定转架的刹车装置；所 述滑轨的前端具有用于与镀膜机内滑轨对接的 对接孔或对接柱。拆装转架时，可移动的支撑架 带动支撑台快速与真空腔内的滑轨对接，支撑台 上的滑轨通过前端的对接孔或对接柱可与真空 腔内的滑轨保持对接精度，从而方便转架顺畅移 动，转架在支撑台上时通过刹车装置固定，可确 保安全性。因此，该转移装置可降低转架转移时 U 的劳动强度、避免损坏转架、且提高了转架的拆 7 装效率。 9