一种声波谐振器及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112688657 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011560361.3 (22)申请日 2020.12.25 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术 研究所 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号 (72)发明人 欧欣　张丽萍　张师斌　周鸿燕　 吴进波　 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 代理人 林丽丽 (51)Int.Cl. H03H 9/02 (2006.01) H03H 3/02 (2006.01) 权利要求书3页 说明书14页 附图24页 (54)发明名称 一种声波谐振器及其制备方法 (57)摘要 本发明提供一种声波谐振器及其制备方法， 所述制备方法包括：提供一压电材料层；于压电 材料层的至少部分上表面进行离子注入并后退 火处理，以于压电材料层中预设深度处形成具有 预设厚度的高缺陷密度损伤层；于压电材料层上 表面形成至少一个暴露高缺陷密度损伤层的腐 蚀窗口；基于腐蚀窗口去除至少部分高缺陷密度 损伤层，以于压电材料层中形成空气隙；其中，空 气隙将压电材料层分为压电衬底及压电薄膜，压 电薄膜位于空气隙的上方，压电薄膜与压电衬底 在空气隙的边缘处具有接触；于压电薄膜上表面 形成图案化电极。通过本发明提供的声波谐振器 A 及其制备方法，解决了现有声波谐振器无法满足 7 5G通信需求的问题