一种水冷系统与真空夹持系统共用空间的靶站结构2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116847528 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310519120.1 (22)申请日 2023.05.09 (71)申请人 中国原子能科学研究院 地址 102413 北京市房山区新镇北坊 (72)发明人 赵黎杰　宋国芳　邢建升　冀鲁豫　 凌丽　 (74)专利代理机构 北京维正专利代理有限公司 11508 专利代理师 卓凡 (51)Int.Cl. H05H 6/00 (2006.01) H05H 13/00 (2006.01) H05H 7/00 (2006.01) H05K 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图12页 (54)发明名称 一种水冷系统与真空夹持系统共用空间的 靶站结构 (57)摘要 本发明公开了一种水冷系统与真空夹持系 统共用空间的靶站结构，包括靶架、靶基、真空夹 持机构、直线气缸、水冷管道；其特点是：所述真 空夹持机构设有一对”L”型通孔，该一对”L”型通 孔向下通向靶基上表面的水槽，该一对”L”型通 孔和靶基上表面的水槽紧密贴合形成了分时占 用且共用的密封空间，该分时占用且共用的密封 空间为抽真空空间和水冷空间。本发明将真空加 持头内的“L”型通道、靶基上的“船”型水槽、以及 分别布设在真空加持头和靶基上的密封圈有机 结合起来，形成了一个密闭的水冷通道和密闭的 A 抽真空通道、将靶站整体高度降低将近