有通道的举升销

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113073310 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202011548209.3 (22)申请日 2020.12.24 (30)优先权数据 62/957,516 2020.01.06 US (71)申请人 ASM IP私人控股有限公司 地址 荷兰阿尔梅勒 (72)发明人 R.辛古　D.南德瓦纳　T.R.邓恩　 S.斯瓦米纳坦　B.佐普　C.L.怀特　 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 焦玉恒 (51)Int.Cl. C23C 16/458 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图11页 (54)发明名称 有通道的举升销 (57)摘要 一种反应器系统可包括：反应室，其由室侧 壁封闭；以及基座，其在所述反应室中设置在包 括于所述反应室中的反应空间与下室空间之间。 所述基座可包括销孔，所述销孔被设置成穿过所 述基座，使得所述销孔与所述反应空间和所述下 室空间流体连通，并且使得所述反应空间与所述 下室空间流体连通。举升销可以设置在所述销孔 中。所述举升销可包括销主体，所述销主体包括 由销通道表面限定的销通道，所述销通道设置在 所述销主体中，使得当所述举升销设置在所述销 孔中时，所述反应空间与所述下室空间流体连 通。 A 0 1 3 3 7 0 3 1 1