一种扩散片生产加工用扩散炉2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 221005925 U (45)授权公告日 2024.05.24 (21)申请号 202223559375.0 (22)申请日 2022.12.30 (73)专利权人 济南晶久电子科技有限公司 地址 250000 山东省济南市章丘区明水经 济开发区工业二路东侧(东昊工业园 内) (72)发明人 杨本广　侯志刚　刘在军　 (74)专利代理机构 济南元本开创专利代理事务 所(普通合伙) 37381 专利代理师 钟振兵 (51)Int.Cl. F27B 17/00 (2006.01) F27D 17/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 (54)实用新型名称 一种扩散片生产加工用扩散炉 (57)摘要 本实用新型涉及扩散炉结构技术领域，尤其 涉及一种扩散片生产加工用扩散炉。其技术方案 包括：底座、炉体、机框、药筒、旋转块和活塞，所 述底座的下表面设有支撑座，所述底座的上表面 设有炉体，所述炉体的边侧设有机框，所述机框 的上表面设有真空泵，所述机框的底端设有洗涤 箱，所述真空泵的抽吸端设有抽气管，所述抽气 管与炉体内部相互连通，所述真空泵的排放端设 有出气管，所述出气管插入洗涤箱的内部底端， 所述药筒设在洗涤箱的外壁上端，所述药筒通过 细管与洗涤箱相互连通。本实用新型通过结构之 间的配合对废气进行中和洗涤处理，且可自动定 U 期添加碱性中和液，降低人力成本。 5 2 9